펄스 마그네트론 스퍼터링 소스에서 time-resolved cutoff probe 진단과 플라즈마의 Loss 특성, Modified Global Model을 이용한 박막에 가해지는 ion energy flux density의 분석

인정환; 나병근; 장홍영; 한전건

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 인정환 (한국과학기술원) 나병근 (한국과학기술원) 장홍영 (한국과학기술원) 한전건 (성균관대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제34회 동계정기학술대회 초록집

발행연도: 2008.2

수록면: 205 - 205 (1page)

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2008

펄스 마그네트론 스퍼터링 소스에서 time-resolved cutoff probe 진단과 플라즈마의 Loss 특성, Modified Global Model을 이용한 박막에 가해지는 ion energy flux density의 분석

인정환 , 나병근 , 장홍영 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2008.02 학술대회자료

2004

그리드를 이용한 DC 마그네트론 스퍼터링 소스의 플라즈마 특성에 대한 연구

인정환 , 정민재 , 장홍영 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2004.08 학술대회자료

Unbalanced DC 마그네트론 스퍼터링 소스의 플라즈마 특성에 대한 연구

인정환 , 장홍영 한국진공학회 학술발표회초록집 2004.02 학술대회자료

그리드를 장착한 DC 마그네트론 스퍼터링 플라즈마의 특성 연구

인정환 , 정민재 , 장홍영 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2004.02 학술대회자료

2003

그리드를 장착한 DC 마그네트론 플라즈마의 플라즈마 특성 연구

인정환 , 정민재 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2003.05 학술대회자료

두 개의 그리드를 이용한 개선된 마그네트론 플라즈마에서 플라즈마 특성 측정

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