두께가 다른 2개의 게이트 절연막을 포함한 FinFET 구조를 가진 멀티비트 낸드 플래시 메모리

김병권; 김현우; 김동훈; 유주형; 김태환

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저자정보: 김병권 (한양대학교) 김현우 (한양대학교) 김동훈 (한양대학교) 유주형 (한양대학교) 김태환 (한양대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제37회 하계정기학술대회 프로그램집

발행연도: 2009.8

수록면: 208 - 208 (1page)

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