고민감도 센서 응용을 위한 금속 빗살무늬 나노전극쌍 개발

신흥주; 심대식; 허정일; 김진로; 박형열; 류윤하; Marc Madou

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 신흥주 (울산과학기술대학교) 심대식 (울산과학기술대학교) 허정일 (울산과학기술대학교) 김진로 (국민대학교) 박형열 (인제대학교) 류윤하 (연세대학교) Marc Madou (UC-Irvine)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2010년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집

발행연도: 2010.11

수록면: 4,168 - 4,172 (5page)

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연구결과

이 논문의 연구 히스토리 (2)

2014

전기화학 기법으로 선택적으로 기능화된 탄소 빗살무늬 나노전극쌍 기반 혈당센서 개발

신흥주 , Deepti Sha , ma 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2014.05 학술대회자료

2010

고민감도 센서 응용을 위한 금속 빗살무늬 나노전극쌍 개발

신흥주 , 심대식 , 허정일 외 5명 대한기계학회 춘추학술대회 2010.11 학술대회자료

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This paper presents a simple nanofabrication technique for interdigitated array (IDA) nanoelectrodes enabling highly sensitive detection of dopamine by collecting electrochemical current amplified through redox cycling between the fingers of the IDA nanoelectrodes of high aspect ratio. The aspect ratio affecting the signal amplification dominantly can be controlled in deliberate manner through carbon-MEMS and electroplating processes. The carbon-MEMS process which consists of a conventional photolithography followed by pyrolysis converts micrometer size photoresist patterns into nanometer size glassy carbon structures but maximizing electrode aspect ratio is limited because of the non-isotropic volume shrinkage rate during the pyrolysis process. Directional gold electroplating processes onto pre-patterned the carbon nanoelectrodes without a mould overcame the limitation resulting in higher signal amplification compared to the bare carbon nanoelectrodes. The metal coated high aspect ratio IDA nanoelectrodes demonstrated the feasibility as a highly sensitive sensor of low cost for neurotransmitters, especially dopamine.

#Interdigitated array nanoelectrodes(빗살무늬 미소전극쌍) #directional electroplating(선택적 전기도금) #carbon-MEMS(카본 MEMS)

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