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대한전기학회 전기학회논문지 C 전기학회논문지 제55C권 제2호
발행연도
2006.2
수록면
93 - 99 (7page)

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In this paper, we fabricated and evaluated polydimethylsiloxane(PDMS)-based flexible and implantable micro electrodes. The electrode patterning was carried out with the photolithography and chemical etching process after e-beam evaporation of 100 ÅTi and 1000 Å Au. The PDMS substrate was treated by oxygen plasma using reactive ion etching(RIE) system to improve the adhesiveness of PDMS and metal layers. The minimum line width of fabricated micro electrode was 20 ㎛. After finished patterning, we did packaging with PDMS and then brought up the electrode's part about 40 ㎛ with gold electroplating. The Hank's balanced salt solution(HBSS) test was carried out for 6 month for endurance of fabricated micro electrode. We carried out in-vivo test for the evaluation of biocompatibility by implanting electrodes under the ICR mouse skin for 42 days.
#PDMS #Flexible and Implantable Micro Electrode #Oxygen Plasma #Gold Electroplating #In-vivo Test

목차

Abstract
1. 서론
2. 제작 및 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
감사의 글
참고문헌
저자소개

참고문헌 (12)

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[학술지(정기간행물)] - Kovacs G T A / 1994. / Silicon-substrate microelectrode arrays for parallel recording of neural activity in peripheral and cranial nerves 4 : 567 ~ 577 google schola [학술지(정기간행물)] - Campbell P K / 1991. / manufacturing process for an intracortical electrode array 38 : 758 ~ 768 google schola [학술지(정기간행물)] - Ensell G / 1996. / Silicon-based microelectrodes for neurophysiology fabricated using a gold metallization/nitride passivation system 5 : 117 ~ 121 google schola [학술지(정기간행물)] - Stieglitz T / 1997. / A flexible, light-weight multichannel sieve electrode with integrated cables for interfacing regenerating peripheral nerves 60 : 240 ~ 243 google schola [학술지(정기간행물)] - Takeuchi S / 2000. / A three-dimensional shape memory alloy microelectrode with clipping structure for insect neural recording 9 : 24 ~ 31 google schola

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