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한재원 (연세대학교) 김용우 (연세대학교) 정호원 (연세대학교) 김석 (연세대학교) 장진희 (연세대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2010년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2010.11
수록면
4,144 - 4,147 (4page)

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For decays, laser direct writing (LDW) is widely used for material processing of high precision engineering. The technique takes an important role in micro scale fabrication / manufacturing. In general, LDW uses beam spot focused by refractive optics and the scale of processing is mainly determined by diffraction limit. The resolution of commercially available system is about 500 ㎚. In this paper, we introduce high resolution LDW process using solid immersion lens probe or nano aperture probe which scans sample surface in contact mode assembled with LDW system. These probes are protected by diamond like carbon film for high durability. Using these contact probes, we achieved resolution up to 50 ㎚ and relatively high scan speed about 10 ㎜/s, which is several hundred times faster than conventional near-field scanning optical microscope scheme. The speed is comparable to conventional system and we expect these schemes can be practically used for fabrication system.
#Laser direct writing #Near-field recording #Solid immersion lens #nano aperture

목차

Abstract
1. 서론
2. 고 분해능 광 프로브
3. 프로브를 이용한 직접 묘화
4. 결론
참고문헌

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