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저자정보
김용우 (연세대학교 기계공학과) 이진석 (연세대학교 기계공학과) 김경식 (연세대학교 기계공학과) 한재원 (연세대학교 기계공학과)
저널정보
한국레이저가공학회 한국레이저가공학회 학술대회 논문집 한국레이저가공학회 2006년도 춘계학술발표대회 논문집
발행연도
2006.1
수록면
123 - 128 (6page)

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We constructed a micro-patterning system that build patterns on a photoresist coated wafer using laser direct writing system. Confocal microscope system was adapted for real-time auto-focusing of the laser writing lens to generate lines of uniform width.
#레이저 직접묘화 #미세 패터닝 #공초점 #자동 초점 보정 #laser direct writing #micro-patterning #confocal #auto-focus

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