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논문 기본 정보
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- 학술저널
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- 저널정보
- 대한기계학회 Journal of Mechanical Science and Technology Journal of Mechanical Science and Technology Vol.19 No.11[Special Edition]
- 발행연도
- 2005.11
- 수록면
- 2,145 - 2,150 (6page)
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Near-field scanning optical microscopy (NSOM) coupled with laser is used in nano-scale processing to make nano-scale dots or nano-scale structure. Nano-sclae processing using NSOM coupled with laser can be applied to photo- chemical etching process on crstalline silicon, to additive processes on some polymers, to subtraction processes on SAMs and other polymers. And it can be used to change material's optical properties in nano-scale geometry. As above, nano-scale processing using NSOM coupled with laser has an advantage that it can be applied to various processes. In this work, by using NSOM coupled with 266㎚ UV laser, nano-scale patterns were fabricated on chloromethylated polyimide(CMPI) films coated on silicon wafer. CMPI undergoes a fast photolysis under UV light. So, in the case of pattern fabrication on CMPI it is possible to fabricate patterns without development process. Possibilities for SMPI to be applied to nano-scale patterns fabrication were demonstrated. Compared to usual lithographic processes, the process proposed in this work is simple because development, one of steps to fabricate nano-scale patterns, is not needed. And the finite-difference-time-domain(FDTD) method was employed to simulate the energy intensity distribution in the near-field. The simulation was executed for NSOM tip and UV laser. The influence of aperture size and tip-sample distance on the resolution of the lithographic process is discussed from the simulation results. Comparison of some simulation results with corresponding experimental results could confirm the validity of the simulation model proposed.
목차
Abstract
1. Introduction
2. Experiment
3. Simulation
4. Conclusion
Acknowledgment
References
참고문헌 (10)
참고문헌 신청
Binning, G., Rohrer, H., Gerber, Ch. and Weibel, E., 1982, "Surface Studies by Scanning Tunneling Microscopy," Physical review letters, Vol.49, pp.57~61.
Jung, S. T., 2000, "High-power Near-field Probes and Their Applications to Optical Recording," Ph.D. Thesis, KAIST, pp.23~42.
Kim, J.-B. and Na, S.-J., 2004, "Sub-micro Machining by using Near Field Effect of Femto-second Laser," in Proceedings of the 2004 spring annual meeting of Korean welding society, pp.97~99
Landraud, N., Peretti, J., Chaput, F., Lampel, G., Boliot, J.-P., Lahlil, K. and Safarov, V. I., 2001, "Near-field Optical Patterning on Azo-hybrid Sol-gel Films," Applied physics letters, Vol.79, No.27, pp.4562~4564.
Lee, S., Kim, J., Shin, W. S., Lee, H.-J., Koo, S. and Lee, H., 2004, "Fabrication of Nanostructures using Scanning Probe Microscope Lithography," Materials science and engineering C, Vol.24, pp.3~9.
Jung, S. T., 2000, "High-power Near-field Probes and Their Applications to Optical Recording," Ph.D. Thesis, KAIST, pp.23~42.
Kim, J.-B. and Na, S.-J., 2004, "Sub-micro Machining by using Near Field Effect of Femto-second Laser," in Proceedings of the 2004 spring annual meeting of Korean welding society, pp.97~99
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