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김성진 (서강대학교) 김경업 (서강대학교) 박영규 (서강대학교) 박준규 (서강대학교) 조규만 (서강대학교) 이승엽 (서강대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2010년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2010.11
수록면
1,178 - 1,181 (4page)

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In this study, a new scanning interferometer scheme which can overcome 2π ambiguity using a feedback control of astigmatic position sensing scheme, that is, an auto-focusing scheme. Using the proposed scheme, we are able to simultaneously measure both complex reflection coefficient and step-height of the inhomogeneous sample. The potential of this interferometer on the scanning microscopy of a rough and inhomogeneous surface is discussed.
#Astigmatism(비점수차법) #Heterodyne interferometer(헤테로다인 간섭계) #2π ambiguity(2π 모호성) #Focus Error Signal(포커스오차신호) #Auto Focus(자동초점)

목차

Abstract
1. 서론
2. 비점수차법 간섭계
3. 일정높이 헤테로다인 간섭계
4. 결론
5. 후기
참고문헌

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