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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2009년도 동역학 및 제어부문 춘계학술대회 논문집
발행연도
2009.5
수록면
130 - 131 (2page)

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An interferometer system enables a precise surface measurement with the accuracy of sub-nanometer and the relatively wide detecting range. However, the surface height change between adjacent pixels should be limited to within one-quarter of the measurement wavelength, which is usually called "2π-Ambiguity". We propose a new measurement technique to overcome the 2π-Ambiguity problem using both focus error signal(FES) gen ... 전체 초록 보기
#Astigmatism method(비점수차 방법) #Heterodyne interferometer(헤테로다인 간섭계) #2π ambiguity(2π 모호성) #Focus Error Signal(포커스오차신호)

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