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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
심규일 (코미코) 구경완 (호서대학교)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2010 대한전기학회 전기설비부문회 추계학술대회 논문집
발행연도
2010.11
수록면
384 - 386 (3page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

정전기척의 잔류전하가 정전인력의 약화에 미치는 영향
심규일 ,  구경완 대한전기학회 학술대회 논문집 2010.11 학술대회자료
정전기척의 잔류전하에 의한 정전기력의 약화에 미치는 영향
심규일 ,  구경완 대한전기학회 학술대회 논문집 2010.11 학술대회자료

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캐패시터와 동일한 구조용 하고 있는 정전기척에 있어 정전전하는 웨이퍼를 강하게 흡착시켜주는 역할을 훌륭하게 수행한다. 정전기적의 전극과 웨이퍼 사이에 유도되는 전계에 의해 각각의 부분에는 반대전하가 충전된다. 일련의 공정이 종료된 웨이퍼는 조속히 정전기척으로부터 탈착 및 이송 ... 전체 초록 보기

목차

Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
[참고문헌]

참고문헌 (0)

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