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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
권민지 (세종대학교) 권석준 (파이맥스) 이근영 (파이맥스) 김수연 (파이맥스) 김병환 (세종대학교)
저널정보
대한전기학회 정보 및 제어 논문집 ICS 2010 정보 및 제어 심포지엄 논문집
발행연도
2010.4
수록면
228 - 229 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

신경망과 측광기를 이용한 플라즈마 감시
권민지 ,  권석준 ,  이근영 외 2명 정보 및 제어 논문집 2010.04 학술대회자료

2009

신경망과 CUSUM 제어차트를 이용한 플라즈마 색 감시
권민지 ,  김병환 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2009.10 학술대회자료

초록· 키워드

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플라즈마는 공정 조건에 따라 다양한 빛을 발산하는데 플라즈마 공정의 질(Quality)과 장비 생산성을 향상시키기 위한 감시에 활용 할 수 있다. 본 연구에서는 바이어스 전력의 이상에 따른 플라즈마 고장을 실시간으로 탐지하는 기법을 보고한다. 바이어스 전력은 40-48W 범위에서 변화시키면서, 플라즈마 칼라의 변이를 수집하였다. 수집된 색 정보 데이터 ... 전체 초록 보기

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