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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
김유석 (세종대학교 전자공학과) 김병환 (세종대학교 전자공학과) 한정훈 ([주]주성엔지니어링) 서승훈 ([주]주성엔지니어링) 손종원 ([주]주성엔지니어링)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2006년도 추계학술대회 발표 논문집
발행연도
2006.1
수록면
72 - 76 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2006

플라즈마 증착 장비 센서 정보의 신경망 시계열 모델링
김유석 ,  김병환 ,  권기청 외 2명 정보 및 제어 논문집 2006.04 학술대회자료
웨이브릿 시계열 신경망을 이용한 플라즈마 장비 센서 정보 모델링
김유석 ,  김병환 ,  한정훈 외 2명 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2006.01 학술대회자료

초록· 키워드

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본 연구에서는 웨이브릿과 신경망을 결합하여 플라즈마 고장을 감시하기 위한 시계열 모델을 개발하였다. 본 기법은 플라즈마 증착장비에 의해 수집된 18 개의 센서정보에 적용하여 평가하였다. 이산치 웨이브릿(Discrete Wavelet Transformation)은 장비에서 수집된 센서정보의 전 처리를 위해 이용되었다. 시계열 모델의 성능은 과거와 미래정보의 함수로 평가하였다. 수집된 18 개의 센서정보에 대한 모델성능 비교를 위해 표준화된 성능평가지표가 적용되었다. 평가결과, 본 기법에 의해 개발된 시계열 모델은 대략 4% 정도의 예측에러를 보였다.

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