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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
김우석 (세종대학교) 김병환 (세종대학교)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2006년도 추계학술대회 발표 논문집
발행연도
2006.1
수록면
90 - 95 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2007

CUSUM 제어차트를 이용한 플라즈마 변이의 탐지
김우석 ,  김병환 대한전기학회 학술대회 논문집 2007.10 학술대회자료
CUSUM 제어차트를 이용한 플라즈마 변이의 탐지
김우석 ,  김병환 대한전기학회 학술대회 논문집 2007.10 학술대회자료

2006

CUSUM 제어 차트를 이용한 플라즈마 장비 임피이던스 정합망 센서정보의 실시간 감시
김우석 ,  김병환 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2006.01 학술대회자료

초록· 키워드

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본 연구에서는 반도체 플라즈마 장비 감시를 위한 CUSUM 제어 차트 설계기법에 관해 연구하였다. CUSUM 제어차트에 관여하는 설계변수의 다양한 조합에 대하여 플라즈마 장비의 감시 성능을 평가하였다. 평가를 위해 RF 정합망 감시시스템을 이용하여 플라즈마 임피이던스 정합에 관여하는 정합변수에 대한 실시간 데이터를 수집하였으며, 여기에는 임피이던스와 상위치에 대한 전기적 정보, 그리고 반사전력에 대한 정보가 포함된다. 평가결과, 설계변수의 조합에 대하여 감시 성능이 크게 달랐지만, 각 센서 정보의 감시 성능을 증진시키는 설계변수의 조합이 있었음을 확인하였으며, 이는 각 종 다양한 센서정보 별 CUSUM 제어 차트의 설계가 필요함을 의미한다.

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