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김병환 (세종대학교) 권민지 (세종대학교) 김대현 (세종대학교) 정재훈 (쎄미시스코) 우봉주 (쎄미시스코)
저널정보
대한전기학회 정보 및 제어 논문집 ICS 2010 정보 및 제어 심포지엄 논문집
발행연도
2010.4
수록면
226 - 227 (2page)

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신경망과 CUSUM 제어차트를 이용하여 챔버 누출을 감시하는 기법을 보고한다. 챔버 누출 데이터는 광반사분광기를 이용하여 수집하였다. 학습된 모델의 예측성능은 0.48%로 매우 정확하였다. 모델의 감시 성능은 24개의 정 ... 전체 초록 보기

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