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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
우도균 (광주과학기술원) 하네 카즈히로 (토호쿠대학) 이선규 (광주과학기술원)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제34권 제11호
발행연도
2010.11
수록면
1,637 - 1,642 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

서브 미크론의 패턴으로 구성된 고효율 회절 렌즈 몰드 제작
우도균 ,  하네 카즈히로 ,  이선규 대한기계학회 논문집 A권 2010.11 학술저널
서브 미크론의 패턴으로 구성된 고효율 회절 렌즈 몰드 제작
우도균 ,  하네 카즈히로 ,  이선규 대한기계학회 춘추학술대회 2010.04 학술대회자료

초록· 키워드

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본 연구는 초슬림의 광학 시스템에 적용 가능한 서브 미크론의 패턴으로 구성된 고효율 회절 렌즈의 금형을 가공하는 방법에 관한 것이다. 서브미크론의 패턴으로 구성된 고효율 회절 렌즈를 가공하기 위해 분해능이 뛰어난 전자빔 노광장치와 고속 원자 빔 플라즈마 에칭 공정을 바탕으로 다중 정렬방식을 이용하였다. 다중 정렬 방식을 이용하여 고효율 회절 렌즈를 가공 하기 위해서는 정렬 오차, 노광 오차 그리고 에칭 오차를 최소화 해야만 한다. 본 연구에서는 이 주요한 세 가지 가공 오차를 최소화 하였으며, 이를 바탕으로 지름 267 ㎛ (NA=0.25), 최소 선 폭 226 ㎚, 렌즈 두께 819 ㎚ 를 가지는 고효율 회절 렌즈 가공을 실현 하였다.
#Electron-Beam Lithography(전자빔 노광) #FAB(Fast Atom Beam) #Plasma Etching(고속 원자 빔 플라즈마 에칭) #Diffractive Lens(회절 렌즈) #Multi-Alignment Method(다중 정렬 방식)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 고효율 회절 렌즈
3. 고효율 회절 렌즈 가공
4. 결과 및 토의
5. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (12)

참고문헌 신청
1. [단행본] - Rayleigh, L / 1888 / Wave Theory of Light,” Vol.XXIV, Encyclopedia Britannica / Charles Scribner’s Sons : 437 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - Falkis, D / 1995 / Spectral Properties of Multiorder Diffractive lens / Appl. Opt. 34 : 2462 ~ 2468 google schola 3. [기타자료] - McClure, E. C / 1991 / Manufacturers Turn Precision Optics with Diamond / Laser Focus World : 95 ~ 105 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Gale, M.T / 1994 / Fabrication of Continuous-Relief Micro-Optical Elements by Direct Laser Writing in Photoresist / Opt. Eng. 33 : 3556 ~ 3566 google schola 5. [단행본] - Turunen, J / 1997 / Diffractive Optics for Industrial and Commercial Applications / Akademie Verlag : 41 ~ google schola

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