메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김영광 (과학기술연합대학원대학교 측정과학과) 이혁교 (과학기술연합대학원대학교 측정과학과) 김영식 (과학기술연합대학원대학교 측정과학과) 이윤우 (한국표준과학연구원 첨단측정장비연구소 우주광학팀)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 반도체디스플레이기술학회지 제18권 제2호
발행연도
2019.1
수록면
58 - 62 (5page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색

이 논문의 연구 히스토리 (3)

2020

차세대 광학소자 제작을 위한 레이저 직접 노광 공정연구
김영광 2020.01 학위논문

2019

다중 패턴의 회절광학소자 제작을 위한 레이저 직접 노광시스템의 공정 연구
김영광 ,  이혁교 ,  김영식 외 1명 반도체디스플레이기술학회지 2019.01 학술저널

2015

회절광학소자 제작을 위한 레이저 직접 노광기의 공정 실험
김영광 ,  이혁교 ,  김영식 외 4명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2015.12 학술대회자료

초록· 키워드

오류제보하기
Diffractive Optical Elements(DOEs) diffracts incident light using the diffraction phenomenon of light to generate a desired diffraction image. In recent years, the use of diffraction optics, which can replace existing refractive optical elements with flat plates, has been increased by implementing various optical functions that could not be implemented in refractive optical devices and by becoming miniaturized and compacted optical elements. Direct laser lithography is typically used to effectively fabrication such a diffractive optical element in a large area with a low process cost. In this study, the process conditions for fabricating patterns of diffractive optical elements in various shapes were found using direct laser lithographic system, and optical performance evaluation was performed through fabrication.
#Direct Laser Lithography #Laser Writing System #Diffractive Optical Elements #Computer Generated Hologram #Micro-Patterning

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (12)

참고문헌 신청
Takahisa ANDO / 1999 / Head mounted display for mixed reality using holographic optical elements / Mem., Fac. Eng 40:1~6 google schola Guoguang Yang / 1999 / An optical pickup using a diffractive optical element for a high-density optial disc / Opt. Communications 159(1-3):19~22 google schola H. J. Tiziani / 2001 / Testing of aspheric surfaces / Proceeding of SPIE 4440:109~119 google schola Jean-Michel Asfour / 2006 / Asphere testing with a Fizeau interferometer based on a combined computer-generated hologram / J. Opt. Soc. America A 23(1):172~178 google schola Makoto Okai / 1994 / Optical device diffraction gratings and a photomask for use in the same / US patent, US5340637A google schola

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0