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곽태영 (경남대학교) 이승지 (경남대학교) 이경찬 (경남대학교) 한상보 (경남대학교) 박상현 (경남대학교) 박재윤 (경남대학교) 김태규 (부산대학교)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2010 대한전기학회 제41회 하계학술대회
발행연도
2010.7
수록면
1,321 - 1,322 (2page)

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본 논문에서는 RF플라즈마 CVD법에 의한 Cyclo-hexane, H₂와 O₂혼합기체로부터 실리콘 기판 위에 성장된 다이아몬드 박막에 대하여 논하였다. 박막을 성장시키기 이전에 핵생성 밀도를 증가시키기 위해 다이아몬드 분말(1㎛)로 초음파 세척을 하였다. 고주파전력 1[㎾], 압력 2[Torr], 사이클로헥산 유량 0. ... 전체 초록 보기

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