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학술대회자료
저자정보
J. KIM (Nippon Institute of Technology) S. MIYAKE (Nippon Institute of Technology) K. SUZUKI (Nippon Institute of Technology)
저널정보
한국트라이볼로지학회 한국트라이볼로지학회 학술대회 한국윤활학회 2002년도 Proceedings of The Second Asia International Conference on Tribology
발행연도
2002.10
수록면
67 - 68 (2page)

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The properties and mechanism of silicon protuberance and groove processing by diamond tip sliding using atomic force microscope (AFM) in atmosphere were studied. To control the height of protuberance and the depth of groove, the processed height and depth depended on load and diamond tip radius were evaluated. Nanoprotuberances and grooves were fabricated on a silicon surface by approximately 100-㎚-radius diamond tip sliding using an atomic force microscope in atmosphere. To clarify the mechanical and chemical properties of these parts processed, changes in the protuberance and ... 전체 초록 보기
#Microprocessing #Tribochemical processing #Local oxidation #Protective etching mask #Atomic force microscope

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