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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2002.3
- 수록면
- 268 - 273 (6page)
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Electrostatically resonating testing devices were used to evaluate elastic modulus, fracture toughness, fatigue properties of microscale materials applicable to thin film system, MEMS, electronic package. Here, Rayleigh's energy method was used to obtain the relationship between resonance frequency and system stiffness, where resonance frequence can be converted into elastic modulus and notch length. For laterally actuated devices, resonance frequencies were measured as a function of temperature during temperature cycle, which was used to estimate elastic modulus with varying temperature. Other devices with micro-notch in their beams were used to understand the effect of notch shape on fracture toughness and life time. Experimental results show that it was successful to evaluate the temperature dependency of elastic modulus, notch-shape dependecy of fraucture toughness, and fatigue properties.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 강성도 평가이론
4. 실험결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌
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