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UV-LIGA 표면 미세 가공 기술과 (110) 실리콘 몸체 미세 가공 기술을 이용한 큰 종횡비의 빗모양 구동기 제작에 관한 연구
전기학회논문지 C
2000 .02
표면 및 몸체 미세 가공 기술로 제작된 대기압에서 동작하는 전자력 검출형 각속도계의 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2000 .07
표면 미세가공기술을 이용한 마이크로 광학소자 및 구동기의 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .11
실리콘 미세가공을 이용한 생체시료 채취 및 주입용 마이크로 니들
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2001 .10
표면미세가공기술을 이용한 수평감지방식의 정전용량형 다결정 실리콘 가속도계의 설계, 제작 및 가공 오차 영향 분석 ( Design, Fabrication and Micromachining Error Evaluation for a Surface-Micromachined Polysilicon Capacitice Accelerometer )
대한기계학회 논문집 A권
2001 .03
An Accelerometer with Polysilicon Piezoresistors Bulk-Micromachined Using a p+ Silicon Etch-Stop Layer
전기학회논문지
1996 .10
다결정실리콘 표면 미세가공 기술을 이용한 초소형 기계식 스위치의 설계 및 제작
전기학회논문지 C
2000 .09
실리콘의 화학기계적 미세가공 특성
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2002 .01
Extended Sacrificial Bulk Micromachining Process and Its Application to the Fabrication of X-axis Single-crystalline Silicon Micro-gyroscope
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2003 .10
나노입자 및 미세가공기술 응용
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2003 .03
Micromachining 기술을 이용한 micro mass flow sensor의 제작 ( The Fabrication of Micro Mass Flow Sensor by Micro-machining Technology )
대한전자공학회 학술대회
1987 .07
Micromachining 기술을 이용한 micro mass flow sensor의 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
1987 .07
UV 레이저 마이크로머시닝을 이용한 마이크로 채널 제작기술
소성·가공
2004 .04
다공질 실리콘 식각법을 이용한 실리콘 미세가공기술 ( Silicon Micromachining Technique Using Porous Silicon Etching Method )
전자공학회논문지-A
1994 .11
UV 레이저 마이크로머시닝을 이용한 마이크로 채널 제작기술개발
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2004 .05
미세가공용 다결정 실리콘 구조체의 제작 및 특성 평가
대한전기학회 학술대회 논문집
1995 .07
기계분야 : ″NANO기술 지향형 마이크로 시스템(MEMS) 및 제작기술 (Micromachining)″
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
액체용액내에서의 마이크로채널 가공특성연구
대한기계학회 춘추학술대회
2010 .05
첨단레이저 응용 미세제거가공기술
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2006 .01
Design and fabrication of a micromirror using silicon bulk micromachining for out-of-plane right angle reflection
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .07
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