표면미세가공기술을 이용한 수평감지방식의 정전용량형 다결정 실리콘 가속도계의 설계, 제작 및 가공 오차 영향 분석 ( Design, Fabrication and Micromachining Error Evaluation for a Surface-Micromachined Polysilicon Capacitice Accelerometer )

김종팔 ,  한기호 ,  조영호

대한기계학회 논문집 A권

2001 .03

미세가공용 다결정 실리콘 구조체의 제작 및 특성 평가

김형동 ,  백승호 ,  이성준 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .07

1 × N 기계식 광스위치 개발 ( Development of 1 × N Mechanical Optical Switch )

최신호 ,  이병욱 ,  박갑석

한국통신학회 광전자공학 학술회의

1998 .01

1 × N 기계식 광스위치 개발 ( Development of 1 × N Mechanical Optical Switch )

최신호 ,  이병욱 ,  박갑석

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

표면 미세가공기술을 이용한 마이크로 광학소자 및 구동기의 제작

김건년 ,  박광범 ,  정석원 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .11

다결정 실리콘 MOSFET 제작과 전류-전압 특성 ( The Fabrication of Polysilicon MOSFET and The I-V characteristics )

안상훈 ,  김성영 ,  박종태 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

다결정 실리콘 마이크로머시닝 제작 시 폴리머 지지를 이용한 옆 방향 점착방지 방법의 제안

임형택 ,  윤충현 ,  김용권

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

다결정 실리콘 자기정렬에 의한 바이폴라 트랜지스터의 제작 ( The Fabrication of Polysilicon Self-Aligned Bipolar Transistor )

채상훈 ,  구용서 ,  이진효

전자공학회논문지

1986 .11

마이크로-광스위치 제작을 위한 다결정실리콘 식각 공정의 최적화

조수범 ,  이경철 ,  이민우 외 6명

한국통신학회 기타 간행물

2002 .10

Dry Release Process of HF Gas-Phase Etching for the Fabrication of Surface Micromachined Polysilicon Actuators

Jong Hyun Lee ,  Won Ick Jang ,  Yong Il Lee 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

저전압 구동용 전기스위치와 미러 어레이 응용을 위한 새로운 표면미세가공기술

박상준 ,  李尙禹 ,  김종팔 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .07

고온 열처리에 따른 다결정 실리콘 박막의 특성

최승진 ,  황완식 ,  이인규

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

다결정실리콘의 경사식각에 관한 연구 - 제1부 : 실험적 고찰 ( A Study on Taper Etching of Polysilicon - Part 1 : The Experimental Study )

이정규 ,  서동량 ,  변재동

전자공학회논문지

1989 .07

소형 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 LCD의 제작

진용석 ,  정태보 ,  배병성 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

다결정실리콘 self-align에 의한 바이폴라 트랜지스터의 제작

채상훈 ,  구용서 ,  김충현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1986 .06

다결정실리콘 self-align에 의한 바이폴라 트랜지스터의 제작 ( Fabrication of Bipolar Transistor with Self-Aligned Polysilicon )

채상훈 ,  구용서 ,  김충현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

표면미세가공시 발생하는 MEMS 구조물의 변형 억제

홍석관 ,  권순철 ,  전병희 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2006 .08

단층 다결정 실리콘 마이크로머시닝 기술로 제작된 정전형 마이크로 미러 어레이의 모델링 및 측정

閔英薰 ,  金容權

전기학회논문지 C

1999 .01

단층 다결정 실리콘 마이크로머시닝 기술로 제작된 정전형 마이크로 미러 어레이의 모델링 및 측정

민영훈 ,  김용권

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

다결정 실리콘에 제작한 TFT의 전류-전압 특성 ( The Current-Voltage Characteristics of the Polysilicon TFT )

장정일 ,  홍성희 ,  박종태

대한전자공학회 학술대회

1990 .01