실리콘의 화학기계적 미세가공 특성

정상철; 박준민; 이현우; 정해도

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자료유형: 학술저널

저자정보: 정상철 박준민 이현우 정해도

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제19권 제1호

발행연도: 2002.1

수록면: 186 - 195 (10page)

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