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강정호 (동아대학교) 박시범 (동아대학교) 이철재 (동아대학교) 권희준 (동아대학교) 전찬봉 (동아대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2010년도 신뢰성부문 춘계학술대회 논문집
발행연도
2010.5
수록면
15 - 21 (7page)

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Nd:YVO₄ 레이저는 금속 재료나 웨이퍼의 비아 홀 가공에 유용하게 사용되어왔다. 본 논문은 절연층;알루미늄;에폭시;유리층으로 구성된 다층 웨이퍼를 Nd:YVO₄ 레이저를 이용하여 가공하였다. 다층 웨이퍼를 미세 가공하는 방법은 Nd:YVO₄ 레이저를 절연층에 조사 한 후 알루미늄을 가공한다. 공정변수의 최적화는 반응표면방법론이 포함된 실험 계획법으로 구성된다. 또한 민감도를 분석함에 있어서 공정변수인 전류;주파수;주사시간을 수치로 나타내었다. 그 결과 절연층은 주사시간의 영향이 가장 크고;알루미늄은 가공주파수의 영향이 가장 컸다.
#Silicon Wafer(실리콘웨이퍼) #Nd:YVO₄ Laser(Nd:YVO₄ 레이저) #Response Surface Methodology(반응표면방법론) #Micro Via Hole(미세비아구멍)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 레이저 실험 장치 및 최적화 방법
3. 실험 결과 및 요약
4. 결론
후기
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