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김진범 (한국과학기술원) 나석주 (한국과학기술원) 장원석 (한국기계연구원) 김재구 (한국기계연구원) 최무진 (한국기계연구원)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2003년도 생산 및 설계공학 부문 추계학술대회 논문집
발행연도
2003.11
수록면
110 - 113 (4page)

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In this work, a study on the energy distribution of short pulses at near field was performed for nano-scale processing. The finite-difference-time-domain (FDTD) method was employed to simulate the energy distribution in near field. The simulation was executed for NSOM tip with aperture and femto-second laser (λ=800㎚). The simulation results show that the energy distribution is a function of the tapered angle, the diameter of the aperture and the coating material of the tip. The intensity of laser energy behind the aperture decreases exponentially with increasing distance from the aperture, while the full width at half maximum is also expanded.
#Electrical field distribution #FDTD #Nano-probe #Near-field #NSOM

목차

Abstract
1. 서론
2. 전기장 분포에 대한 수치해석
3. 해석결과
4. 결론
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