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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2009.5
- 수록면
- 154 - 161 (8page)
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최근 들어 작은 면적에 고속으로 동작하는 여러 기능 블록이 집적됨에 따라, 고속 직접회로는 인접회로의 오동작을 유발하고, 무선 수신기의 감도를 떨어뜨리는 중요한 전자파 간섭원으로 부각되고 있다. 따라서 집적회로 내부에서 가장 주요한 전자파 방해원을 파악하기 위한 좀 더 정밀한 분석 도구가 필요하게 되었다. 이러한 필요성에 따라 본 논문에서는 직접회로의 표면에 흐르는 전류세기의 분포를 측정할 수 있는 고해상도 자기장 프로브를 반도체 공정을 이용하여 설계 및 제작하였다. 3 층 금속 배선이 가능한 반도체 공정을 이용함으로써 프로브 두께를 기존 작업보다 약 10%정도로 감소시킬 수 있었다. 정자기 해석과 전자기 모의실험을 통해 프로브의 공간분해능 및 비자기장 성분에 의한 영향을 분석하였으며, 실제 직접회로의 표면 전류를 측정한 결과, 210㎛의 공간해상도를 얻을 수 있음을 확인하였다.
목차
요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 자기장 프로브의 구조 및 동작 원리
Ⅲ. 실험 결과 및 검토 사항
Ⅳ. 결론
참고문헌
저자소개
참고문헌 (7)
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1. [기타자료] - / 2002 / Integrated circuits - Measurement of electromagnetic emissions 150kHz to 1GHz - Part 6: Measurement of conducted emissions - Magnetic probe method, IEC 61967-6-Ed.1.0
2. [학술지(정기간행물)] - T. Harada / 2006 / Near field magnetic measurements and their application to EMC of digital equipment / IEICE Trans. Electron. E89-C (1)
3. [학술대회논문] - N. Masuda / 2003 / High frequency magnetic near field measurement on LSI chip using planar multi-layer shielded loop coil / IEEE
4. [학술대회논문] - N. Ando / / Miniaturized thin-film magnetic field probe with high spatial resolution for LSI chip measurement / IEEE : 357 ~ 362
5. [학술대회논문] - M. Yamaguchi / 1999 / High spatial resolution magnetic field measurements using thin-film shielded loop coil / International conference on solid state devices and materials : 594 ~ 595
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4. [학술대회논문] - N. Ando / / Miniaturized thin-film magnetic field probe with high spatial resolution for LSI chip measurement / IEEE : 357 ~ 362
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