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박선희 (경성대학교) 곽동주 (경성대학교) 성열문 (경성대학교) 박차수 (동의과학대학)
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한국조명·전기설비학회 한국조명·전기설비학회 학술대회논문집 한국조명·전기설비학회 2010 춘계학술대회 논문집
발행연도
2010.5
수록면
290 - 291 (2page)

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Transparent conductive metal oxide films of Titanium-doped Indium-tin-Oxide (Ti-ITO) and Indium-tin-Oxide (ITO) were deposited by a dual target type radio frequency (RF) magnetron sputtering. At annealing temperature of 450℃, the resistivity of the Ti-ITO an ... 전체 초록 보기

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