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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- Korean Institute of Information Scientists and Engineers 정보과학회논문지 : 소프트웨어 및 응용 정보과학회논문지 : 소프트웨어 및 응용 제37권 제5호
- 발행연도
- 2010.5
- 수록면
- 386 - 393 (8page)
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영상에서 일정 영역의 화소들이 불규칙적인 형태를 이루는 것을 불량이라 하는데 이를 수학적으로 정확히 정의하기 어렵다는 점이 불량 검출을 쉽지 않게 한다. 하지만 주어진 영상이 다수의 반복되는 패턴을 가지고 있다면 불량이 아닌 영역은 그 외의 다른 영역들로 설명되어 될 수 있다는 점을 이용하여 영상내의 불량 영역을 찾아낼 수 있다. 따라서 본 논문은 이러한 특성을 이용하여 다양한 패턴이 반복되는 영상에 존재하는 불량을 검출하는 방법을 제시한다. 제시된 방법은 크게 세 단계로 이루어진다. 첫번째 단계는 interest point 검출단계이다. 두 번째 단계는 적절한 패치의 크기를 결정하는 단계이다. 마지막으로 세 번째 단계는 불량을 검출하는 단계이다. 제시된 방법은 반도체 wafer를 SEM을 이용하여 촬영한 영상들을 통하여 예증된다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 불량 검출
3. 실험
4. 결론
참고문헌
참고문헌 (11)
참고문헌 신청
1. [학술대회논문] - I. C. Baykal / 2002 / On the use of hash functions for defect detection in textures for in camera web inspection systems / IEEE International Symposium In Circuits and Systems : 665 ~ 668
2. [학술지(정기간행물)] - N.G. Shankar / 2005 / Defect Detection on Semiconductor wafer surfaces / Microelectronic Engineering 77 (3) : 337 ~ 346
3. [학술지(정기간행물)] - DM Tsai / 2003 / The evaluation of normalized cross correlations for defect defection / Pattern Recognition Letters 24 (15) : 2525 ~ 2535
4. [학술지(정기간행물)] - H. Ngan / 2008 / Motif based defect detection for patterned fabric / The Journal of the Pattern Recognition 41 (6) : 1878 ~ 1894
5. [학술지(정기간행물)] - Y. Liu / 2004 / A Computational Model for Periodic Pattern Perception Based on Frieze and Wallpaper Groups / IEEE Trans. Pattern Analysis and Machine Intelligence 26 (3) : 354 ~ 371
2. [학술지(정기간행물)] - N.G. Shankar / 2005 / Defect Detection on Semiconductor wafer surfaces / Microelectronic Engineering 77 (3) : 337 ~ 346
3. [학술지(정기간행물)] - DM Tsai / 2003 / The evaluation of normalized cross correlations for defect defection / Pattern Recognition Letters 24 (15) : 2525 ~ 2535
4. [학술지(정기간행물)] - H. Ngan / 2008 / Motif based defect detection for patterned fabric / The Journal of the Pattern Recognition 41 (6) : 1878 ~ 1894
5. [학술지(정기간행물)] - Y. Liu / 2004 / A Computational Model for Periodic Pattern Perception Based on Frieze and Wallpaper Groups / IEEE Trans. Pattern Analysis and Machine Intelligence 26 (3) : 354 ~ 371
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