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학술대회자료
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강전홍 (한국표준과학연구원) 유광민 (한국표준과학연구원) 김한준 (한국표준과학연구원) 한상옥 (충남대학교)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2009 대한전기학회 제40회 하계학술대회
발행연도
2009.7
수록면
2,057 - 2,058 (2page)

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반도체 및 평판표시장치(Flat Panel Display) 공정에서 필수적으로 사용되는 박막 두께 측정기를 개발하였다. 측정방식은 FPP법의 dual configuration 측정원리를 적용하였으며 측정범위는 수 ㎚ ∼ 수십 ㎛이다. 순수한 금속 박막에 대하여 ... 전체 초록 보기

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