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대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 대한전기학회 제37회 하계학술대회 논문집 C
발행연도
2006.7
수록면
1,388 - 1,389 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2011

Single-configuration FPP method에 의한 실리콘 웨이퍼의 비저항 정밀측정
강전홍 ,  유광민 ,  구경완 외 1명 전기학회논문지 2011.07 학술저널

2010

Four-Point Probe method를 이용한 실리콘 웨이퍼의 비저항 정밀측정
강전홍 ,  유광민 ,  한상옥 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2010.11 학술대회자료

2006

Four Point Probe 방법을 이용한 전기비저항의 두께효과
강전홍 ,  김한준 ,  유광민 외 4명 대한전기학회 학술대회 논문집 2006.07 학술대회자료

초록· 키워드

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금속의 전기비저항 측정은 4단자 방법, van der Pauw방법, Four Point Prode(FPP) 방법 등이 있으며, 이들의 정확한 측정방법을 고찰하고, 그 중 FPP 방법에 의한 비저항의 두께효과를 비교 분석하기 위하여 비자성 금속 SUS 316을 두께별로 가공한 후 실험하였다. 그 결과 4단자 및 van der Pauw 방법으로 측정된 도 전 ... 전체 초록 보기

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Four-Point Probe method를 이용한 실리콘 웨이퍼의 비저항 정밀측정
강전홍 ,  유광민 ,  한상옥 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2010 .11
van der Pauw와 four point probe 방법에 의한 반도체 웨이퍼의 면저항 비교
강전홍 ,  김한준 ,  유광민 외 4명 대한전기학회 학술대회 논문집 2004 .07
Four-point Probe를 이용한 1Cr-1Mo-0.25V 강의 전기비저항 정밀측정
유광민 ,  김용일 ,  김시천 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 1998 .05
금속 전기비저항의 정밀측정에 관한 연구
강전홍 ,  유광민 ,  김한준 외 3명 대한전기학회 학술대회 논문집 2007 .04
저온 선택적 원자층 증착공정을 이용한 유기태양전지용 AZO 투명전극 제조에 관한 실험적 연구
김기철 ,  송근수 ,  김형태 외 7명 대한기계학회 논문집 B권 2013 .06

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