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한국지능시스템학회 한국지능시스템학회 학술발표 논문집 한국퍼지 및 지능시스템학회 2006년도 춘계학술대회 학술발표논문집 제16권 제1호
발행연도
2006.5
수록면
231 - 234 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2006

지능화 알고리즘을 이용한 FPD용 박막 두께 자동 측정
문찬우 ,  최우경 ,  김성현 외 2명 대한전자공학회 학술대회 2006.06 학술대회자료
FPD용 박막 두께 자동 측정을 위한 지능화 알고리즘
문찬우 ,  최우경 ,  김성현 외 2명 한국지능시스템학회 학술발표 논문집 2006.05 학술대회자료

초록· 키워드

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과거 디스플레이 장치로서 사용되던 CRT를 대신하여, 상대적으로 두께가 얇고 가벼운 영상장치인 평판 디스플레이(Flat Panel Display, FPD)의 사용이 급증하고 있다. 이렇게 평판표시장치 (Flat Panel Display) 산업의 폭발적인 성장과 함께 새로운 공정개발을 통해 짧은 시간에 더 많은 양을 생산하고, 불량률을 낮추는가에 생산업체의 사활이 달려있다.
본 논문은 FPD 공정에서 품질을 결정하는 여러 요인 가운데 비중이 큰 박막 두께의 제어를 지능화 알고리즘을 통해 해결하고자 한다. 이는 불필요한 과정을 줄여 공정경비를 절감 및 소요 시간을 단축하고, 정밀하게 두께를 측정하는 것을 가능하게 한다. 마지막으로, 제안한 알고리즘을 광 간섭 두께 측정기를 통해 얻은 실제 값을 가지고 시료의 두께를 측정한다.
#Intelligent system #Nueral networks #FPD(Flat Panel Display) #Automatic measuring

목차

요약
1. 서론
2. 박막두께 측정기술
3. 시스템 구성
4. FPD용 박막 두께 측정 알고리즘
5. 시뮬레이션
6. 결과 고찰
감사의 글
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