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The Sr<SUB>0.7</SUB>Bi<SUB>2.3</SUB>Nb₂O?(SBN) thin films are deposited on Pt-coated electrode(Pt/Ti/SiO₂/Si) using RF sputtering method at various deposition temperature. The optimum conditions of RF power and Ar/O₂ ratio were 60[W] and 70/30, respectively. Deposition rate of SBN thin films was about 4.17[㎚/min]. The crystallinity of SBN thin films were increased with increase of deposition temperature in the temperature range of 100~400[℃], the surface rougness showed about 4.33[㎚]. The capacitance of SBN thin films were increased with the increase of deposition temperature.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
감사의 글
참고문헌
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참고문헌 (12)
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1. [학술지(정기간행물)] - Tsuyoshi Hioki / 2000 / Measurement of electic-Field-Induced displacements in (Pb, La)/TiO3 Thin Films Using Scanning Probe Microscopy Preparation of Pb(Zr, Ti)O3 Thin Films on Glass Substrates / Jpn. J. Appl. Phys. 39 (9B) : 5408 ~ 5412
2. [학술지(정기간행물)] - Dinghua Bao / 2002 / Ferroelectric properties of sandwich structured (Bi, La)4T3O12 /Pb(Zr, Ti)O3/(Bi, La)4Ti3O12 thin films on Pt/Ti/SiO2/Si substrates / J. Phys. D: Appl. Phys. 35 (3) : l1 ~ l5
3. [학술지(정기간행물)] - Nobuyuki Soyama / 2000 / Preparation and Evaluation of Pb(Zr, Ti)O3 Thin Films for Low Voltage Operation / Jpn. J. Appl. Phys. 39 (9b) : 5434 ~ 5436
4. [학술지(정기간행물)] - C Bedoya / 2002 / Magnetic-field-induced orientation in Co-doped SrBi2Ta2O9 ferroelectric oxide / J. Phys.: Condens. Matter 14 (45) : 11849 ~ 11857
5. [학술지(정기간행물)] - C. A. T. Salama / 1971 / Characteristics of rf Sputtered Barium Titanate Films on Silicon / J. Vac. Sci. & Technol. 9 (1) : 91 ~ 96
2. [학술지(정기간행물)] - Dinghua Bao / 2002 / Ferroelectric properties of sandwich structured (Bi, La)4T3O12 /Pb(Zr, Ti)O3/(Bi, La)4Ti3O12 thin films on Pt/Ti/SiO2/Si substrates / J. Phys. D: Appl. Phys. 35 (3) : l1 ~ l5
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