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저자정보
오해관 (아주대학교) 최기선 (아주대학교) 이형근 (아주대학교) 이기근 (아주대학교) 양상식 (아주대학교)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 전기학회논문지 제59권 제2호
발행연도
2010.2
수록면
390 - 396 (7page)

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An 80㎒ surface acoustic wave (SAW)-based gyroscope utilizing a progressive wave was developed on a piezoelectric substrate. The developed sensor consists of two SAW oscillators in which one is used for sensing element and has metallic dots in the cavity between input and output IDTs. The other is used for a reference element. Coupling of mode (COM) modeling was conducted to determine the optimal device parameters prior to fabrication. According to the simulation results, the device was fabricated and then measured on a rate table. When the device was subjected to an angular rotation, oscillation frequency differences between the two oscillators were observed because of the Coriolis force acting on the metallic dots. Depending on the angular rate, the difference of the oscillation frequency was modulated. The obtained sensitivity was approximately 52.35 ㎐/degㆍs within the angular rate range of 0~1000 deg/s. The performances of devices with three IDT structures for two kinds of piezoelectric substrates were characterized. Good thermal stability was also observed during the evaluation process.
#Coriolis force #Progressive wave #Surface acoustic wave(SAW) #Self-oscillation #Micro gyroscope

목차

Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
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