표면 탄성파를 이용한 온도센서의 제작 및 특성에 대한 연구

박재홍; 김재환

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자료유형: 학술저널

저자정보: 박재홍 김재환

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제23권 제4호

발행연도: 2006.4

수록면: 139 - 145 (7page)

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This paper presents the design and manufacturing of a sensor using SAW and delay line in order to measure temperature. SAW sensors having single and double electrodes are manufactured on the 128°YX-LiNbO₃substrate, and its process is addressed. Before manufacturing, the device is simulated using a commercial finite element program. The frequency responses of the saw sensor on the temperature change is measured. Since the center frequency on the temperature change from -30℃to 80℃ is linearly changed, the saw sensor is applicable to measure the temperature change or strain variation

#Surface Acoustic Wave(표면 탄성파) #Delay Line(지연선) #Piezoelectric Material(압전 재료) #Finite Element Analysis(유한요소 해석)

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