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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2003.6
- 수록면
- 320 - 325 (6page)
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In this work, we investigated effects of ion implantation on the adhesion strength and tribological properties of Diamond-like Carbon(DLC) film as a function of ion doses and implanted energies. Ti ions were implanted on the Si-wafer substrate and then DLC films were deposited by ion beam deposition method. A CSEM-REVETEST scratch tester was used to assess the adhesion characteristics. In order to study tribological properties such as friction coefficient and behavior of DLC film. we used a ball-on-disc type apparatus in the atmosphere environment. From results, the adhesion strength of films was improved and friction coefficient was more stable below 0.1 as increasing ion implanted energy. Further results, including morphology and compositional variation at the different ion energies and doses, will be described.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
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