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저자정보
A.O. OLOFINJANA (Universiti Brunei Darussalam) Z. CHEN (Queensland University of Technology) J.M. BELL (Queensland University of Technology)
저널정보
한국트라이볼로지학회 한국트라이볼로지학회 학술대회 한국윤활학회 2002년도 Proceedings of The Second Asia International Conference on Tribology
발행연도
2002.10
수록면
165 - 166 (2page)

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Hydrogen free diamond like carbon (DLC) films were prepared on steel substrates by using a single ion beam in a configuration that allowed sputtering of a graphite target and at the same time allowed to impact the substrate at a grazing angle. The DLC films so prepared have improved properties with increased disorder and with modest hardness that is slightly higher than previously reported values. We have studied the effects of N₂? ions implantation on such films. It is found that, the implantations of nitrogen ions into DLC films lead to chemical modifications that allowed N atoms to be incorporated into the carbon network to produce a nitrogenated DLC. Nano-indentation ... 전체 초록 보기
#Ion beam deposition #thin film #DLC #surface modification #ion implantation #carbon nitride

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