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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
강전홍 (한국표준과학연구원) 유광민 (한국표준과학연구원) 이상화 (한국표준과학연구원)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 전기학회논문지 제62권 제11호
발행연도
2013.11
수록면
1,617 - 1,620 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (7)

2015

대면적 전도성 박막의 면저항 정밀측정
강전홍 ,  유광민 ,  이상화 대한전기학회 학술대회 논문집 2015.07 학술대회자료

2014

실리콘 웨이퍼의 면저항 국제 비교
강전홍 ,  유광민 ,  이상화 대한전기학회 학술대회 논문집 2014.11 학술대회자료

2013

van der Pauw method를 이용한 금속도전율 표준시편 개발
강전홍 ,  유광민 ,  이상화 전기학회논문지 2013.11 학술저널
van der Pauw method를 이용한 금속 도전율 인증표준물질 개발
강전홍 ,  유광민 ,  이상화 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2013.07 학술대회자료

2012

반도체 비저항 측정기 개발
강전홍 ,  유광민 ,  이상화 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2012.07 학술대회자료

2010

van der Pauw method를 이용한 ITO박막의 면저항 정밀측정
강전홍 ,  유광민 ,  박영태 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2010.07 학술대회자료

2004

van der Pauw와 four point probe 방법에 의한 반도체 웨이퍼의 면저항 비교
강전홍 ,  김한준 ,  유광민 외 4명 대한전기학회 학술대회 논문집 2004.07 학술대회자료

초록· 키워드

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The widely-used measurement methods for conductivity of non-magnetic metals are van der Pauw method, Two Point Probe method and Eddy Current method. Among them a more simpler and easier method is the Eddy Current method and an instrument using the method is a Conductivity Meter which can measure a conductivity by contacting its probe on a sample surface. However, conductivity standards are essentially needed to confirm the meter’s performance or to calibrate it. In this study, six kinds of the standards which are made of Cu, Al-1, Al-2, brass, Zn and SUS-316 are developed and conductivity ranges for the standards are 2.27 %IACS ~ 101.6 %IACS with measurement uncertainty of less than 0.3 %.
#van der Pauw method #Two point probe method #Resistivity #Certified Reference Material #Conductivity ratio #Uncertainty

목차

Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
References

참고문헌 (9)

참고문헌 신청
1. [단행본] - A. Jones / 1981 / Development of Non-ferrous Conductivity Standards at Boeing, Eddy Current Nondestructive Testing google schola 2. [단행본] - A. Jones, Sr. / 1981 / Eddy-Current Characterization of Materials and Structure / American Society of Testing and Materials : 94 ~ 118 google schola 3. [보고서] - Michael D. Janezic / 2004 / DC Conductivity Measurements of Metals google schola 4. [학술지(정기간행물)] - van der Pauw / 1958 / A method of measuring specific resistivity and Hall effect of discs of arbitrary shape / Philips Res. Rep. 13 : 1 ~ 9 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - Gert Rietveld / 2003 / DC Conductivity Measurements in the van der Pauw Geometry / IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 52 (2) google schola

이 논문의 저자 정보

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