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저자정보
Kim, Jong-Bok (Department of Metallurgical Engineering, Yonsei University) Kim, Kyung-Chan (Department of Metallurgical Engineering, Yonsei University) Ahn, Han-Jin (Department of Metallurgical Engineering, Yonsei University) Hwang, Byung-Har (Department of Metallurgical Engineering, Yonsei University) Baik, Hong-Koo (Department of Metallurgical Engineering, Yonsei University)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2005년도 International Meeting on Information Displayvol.I
발행연도
2005.1
수록면
378 - 380 (3page)

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Diamond like carbon (DLC) films are known that they show homogeneous alignment property when they are irradiated by Ar ion beam. The DLC films in most of studies were deposited by CVD and contain large mount of hydrogen. In order to identity the hydrogen effect on alignment property, DLC films is deposited by RF magnetron sputter using various ratio of Ar and H2 as reactive gas. DLC films are characterized by FT-IR, Raman and contact angle. Alignment property is estimated by measuring pretilt angle.

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