MPCVD에 의해 합성된 다이아몬드 박막 특성에 대한 증착조건의 영향

李秉洙 ,  李悳出

전기학회논문지 P

2002 .03

Growth and In-situ Sulfur Doping to Diamond Thin Films in a Microwave-plasma Chemical Vapor Deposition

Yoshitaka Mitsuda ,  Kenji Nose

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

마이크로웨이브 화학기상합성법을 이용한 압력에 따른 탄소나노튜브의 성장 효과

이재형 ,  최성헌 ,  최원석 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .07

Conductive characterization of Boron doped Diamond thin films by Microwave Chemical Vapor Deposition

Van Cao-Nguyen ,  Yeong Min Pa ,  k 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

3극 마그네트론 스팟터링 화학 기상 증착법에 의한 도전성 다이아 몬드성 탄소 박막의 합성

태홍식 ,  황기웅

한국표면공학회지

1996 .06

NITROGEN DOPED DIAMOND LIKE CARBON FILM SYNTHESIZED BY MICROWAVE PLASMA CVD

Ryoichi URAO ,  Osamu HAYATSU ,  Toshihi 외 2명

한국표면공학회지

1996 .10

A Numerical Simulation of Ion Acceleration to Negatively-biased Substrates in a Microwave-plasma Chemical Vapor Deposition of Diamond

Kenji Nose ,  Yoshitaka Mitsuda

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Microwave Plasma CVD로 제조한 다이아몬드 박막의Morphology에 관한 연구

박영수 ,  김성훈 ,  이조원

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

Microwave Plasma를 이용하여 증착한 diamond 박막의 증착변수에 따른 증착특성 연구

김현호 ,  김흥회 ,  국일현 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

저압화학기상성장법으로 제작된 실리콘 옥시나이트라이드의 pH 농도감지특성 조절에 관한 연구

申白均

전기학회논문지

1997 .03

RF Plasma-assisted Chemical Vapor Deposition of Diamond-like and Graphitic Carbon

이상로

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1989 .11

Microwave Plasma Process에 의한 N-Hexane으로부터 다이아몬드 박막제작 및 특성

한상보 ,  권태진 ,  박상현 외 2명

조명·전기설비학회논문지

2011 .04

플라즈마 화학 증착법으로 제조된 (Ti_1-xAl_x)N 박막의 열처리에 따른 특성 평가

이승훈 ,  임주완

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .11

rf 플라즈마 화학기상증착기의 제작 및 특성

김경례 ,  김용진 ,  현준원 외 3명

한국표면공학회지

2000 .04

A Kinetic Study on the Growth of Nanocrystalline Diamond Particles to Thin Film on Silicon Substrate

Doo Young Jung ,  Chan Hyoung Kang

한국표면공학회지

2011 .08

가스 유량과 RF Power에 따라 PECVD 방법으로 증착된 DLC 박막의 특성

정선영 ,  김현기 ,  주성후

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .06

폴리 실리콘 위에서 나노결정질 다이아몬드 박막 성장

김선태 ,  강찬형

한국표면공학회지

2017 .10

Modeling the Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition Process Using Polynomial Neural Networks

Seung-Soo Han

한국지능시스템학회 논문지

1999 .04