RF Sputter 방법으로 제조한 투명전도막 ZnO 특성

최병호

한국재료학회지

1992 .01

RF Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리 특성 ( The Annealing Characteristics of ZnO thin Film Prepared by RF-Sputtering )

서진호 ,  이덕동 ,  이종현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

RF-Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리특성

서진호 ,  이덕동 ,  이종현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1984 .11

Ga-doped ZnO 박막의 기판온도에 따른 구조적, 전기적 및 광학적 특성에 관한 연구

조원준 ,  윤영섭 ,  강성준

대한전자공학회 학술대회

2008 .11

플라스틱 기판에 증착한 ZnO:Al 박막의 특성에 미치는 스퍼터 압력 효과

이재형

전기전자재료학회논문지

2009 .01

박막 태양전지용 투명 전극을 위한 Ga 도핑된 ZnO의 RF 전력에 따른 구조 및 전기 특성 변화

손창식

한국재료학회지

2011 .01

RF스퍼터링법으로 제작한 ZnO박막의 특성평가

정세민 ,  정광천 ,  최유신 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

RF Sputtering 방법을 이용한 ZnO 투명전극의 특성

이정철 ,  김석기 ,  윤경훈 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Influence of working pressure on characteristics of Mg and Ga co-doped ZnO thin films

Jun Sung Jang ,  Jin Hyeok Kim

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2017 .09

RF-Sputtering 법을 이용한 ZnO:Al 박막의 후 열처리에 따른 특성 변화

이재형 ,  이동진

전기전자재료학회논문지

2008 .01

증착 온도를 변화시켜 DC magnetron sputter로 증착한 Ga-doped ZnO 박막의 특성

박지현 ,  신범기 ,  이민정 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2011 .01

Effect of Sputtering Parameters on The Luminescent Properties of ZnO:Er Thin Film Prepared by RF Magnetron Sputtering

송현돈 ,  김영진

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

ZnO Thin Films Co-Doped Li-Al Grown Using RF Magnetron Sputtering

Jun-Pyo Hong ,  Ki Chang Lee ,  Un Bin Han 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

RF 마그네트론 스퍼트링에 의한 Ga 와 Ge가 도핑된 ZnO 박막 특성의 온도효과

정일현

전기전자재료학회논문지

2011 .01

Influence of sputtering parameter on the properties of silver-doped zinc oxide sputtered films

S. H. Jeong ,  S.B.Lee ,  J.-H. Boo

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .10

RF magnetron sputtering으로 생성한 Ga,Ge와 Ga이 도핑된 ZnO 박막의 특성

정일현 ,  김유진 ,  박정윤 외 1명

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

RF 출력이 ZnO 박막의 전기·광학적 특성에 미치는 영향

신동휘 ,  변창섭 ,  김선태

한국재료학회지

2012 .01

Ga의 도핑농도에 따른 ZnO 박막의 특성

김형민 ,  박기철 ,  마대영

전기전자재료학회논문지

2012 .01

RF Sputtering으로 증착한 어닐링 온도 변화에 따른 Ga-doped ZnO 박막 특성 연구

한승익 ,  김홍배

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

Rf-magnetron Sputtering 장치에 의해 제작된 SiO2가 도핑된 ZnO 박막의 전기적 및 광학적 특성

배강 ,  손선영 ,  홍재석 외 1명

전기전자재료학회논문지

2009 .01