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대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 1996년도 추계학술대회 논문집
발행연도
1996.11
수록면
425 - 427 (3page)

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목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 다단차 실리콘 구조물 제작 기술
Ⅲ. 초정밀 가속도계용 실리콘 펜듈럼 제작
Ⅳ. 펜듈럼 구조물의 유한 요소법 해석
Ⅴ. 결론
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