선택적 용액식각과 재결정성장을 이용한 AlGaAs 표면 방출형 LED의 제작 ( Fabrication of AIGaAs Surface Emitting LED by Selective Meltback and Regrowth )

함성호 ,  유태경 ,  조규석 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1989 .05

새로운 광학소자를 위한 용액식각 마이크로 렌즈 어레이 ( Meltback Micro-Lens Array for New Optical Devices )

함성호 ,  유태경 ,  권영세

대한전자공학회 학술대회

1990 .01

단결정 실리콘의 이방성 습식식각

조남인 ,  김민철 ,  강찬민

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

DUOZON-두오존-고농도 이산화염소($CIO_2$)용액

신광범

수도

1988 .01

CO2레이저에 의한 Poly-Si층의 재결정화

강문상 ,  장선호 ,  최창훈 외 3명

대한전자공학회 워크샵

1990 .01

염화제이철 용액을 이용한 베릴륨동 기판의 식각 특성

이근우 ,  이병욱 ,  이태성 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .10

초박형 태양전지 재결정층의 특성에 따른 휨 현상 영향

최성욱 ,  배성국 ,  서정환

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .05

재증식속도에 의한 상수도 시스템의 세균재증식능 평가

오정우

대한환경공학회지

2005 .03

MEMS기반 에너지 하베스터 제작을 위한 실리콘 KOH 식각 모형화

민철홍 ,  김태선 ,  강경우

전기전자재료학회논문지

2012 .01

고밀도 플라즈마를 이용한 contact hole 식각에서 공정 변수에 따른 식각 특성

김관하 ,  김창일

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

선택적 용액식각을 이용한 AlGaAs 렌즈 제작 및 AlGaAs / GaAs LED에의 응용 ( Fabrication of AlGaAs Lenses and AlGaAs / GaAs LED using the Selective Meltback Effect )

유태경 ,  함성호 ,  권영세

대한전자공학회 학술대회

1988 .11

광소자용 미소렌즈 제작을 위한 GaAs/AlGaAs 계 액상식각 및 에피택시 ( LPE Meltback - Etch and Re - epitaxy of GaAs/AlGaAs for Optical Micro-lense Fabrication )

함성호 ,  권영세

전자공학회논문지-D

1997 .09

NLD Plasma 식각 공정을 이용한 $LiNbO_3$ 광 도파로의 식각 Profile의 특성

박우정 ,  양우석 ,  이승태 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

고종횡비 실리콘 트랜치 건식식각 공정에 관한 연구

함동은 ,  신수범 ,  안진호

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

플라즈마를 이용한 GaAs 반응성 이온 식각

이성현 ,  노호섭 ,  최경훈 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

고밀도 플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성 분석

강찬민 ,  김관하 ,  김창일

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

N2H2-H2O용액의 { 100 } Si에 대한 최적식각조건의 설정과 전기화학적 식각에의 응용 ( Establishment of Optimal { 100 } Si Etching Condition for N2H4-H2O Solutions and Application to Electrochemical Etching )

주병권 ,  이윤희 ,  김형곤 외 1명

전자공학회논문지

1989 .11

반도체 제조용 식각기술

한국발명진흥회

발명특허

2005 .01

SiO₂ 식각을 위한 판형 Low Angle Forward Reflected Neutral Beam 식각장치에 관한 연구

정승재 ,  이도행 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .05

기계적 합금화한 ODS NiAI의 이차 재결정화 거동

어순철

한국재료학회지

1996 .01