선형열처리를 이용한 Si(100)/Si$_3$N$_4$∥Si (100) 기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상연

한국재료학회지

2001 .01

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si₃N₄∥Si(100)기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상현

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

직접 접합된 Si-Si, Si-$SiO_2$/Si기판쌍의 접합 계면에 관한 연구

주병권 ,  방준호 ,  이윤희 외 2명

한국재료학회지

1994 .01

전기로를 이용한 $Si∥SiO_2/Si_3N_4∥Si$기판쌍의 직접접합

이상현 ,  이상돈 ,  서태윤 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

Si기판 직접접합기술을 이용한 박막 SOI구조의 형성과 고감도 Si 홀 소자에의 응용 ( Formation of Thin Film SOI Structures and Its Application to a High-Sensitivity Si Hall Device Using Si-wafer Direct Bonding Technology )

정귀상

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

소형 Si 압력센서의 제작 및 특성 평가 ( Fabrication and Characterization of Miniature Si Pressure Sensor )

주병권 ,  이명복 ,  이정일 외 3명

전자공학회논문지

1990 .11

Si₁ₓ-Geₓ/Si 구조에서의 Hall 이동도

강대석 ,  신창호 ,  박재우 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .06

Si 종형 Hall 소자의 제조 및 그 특성 ( Fabrication of Si Vertical Hall Cells and Its Properties )

류지구 ,  최세곤

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

Ti-(45~52%)Al-2%W-(0~0.5%)Si합금의 고온산화

이동복 ,  우성욱

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .10

실리콘-유리 정전 열 접합에 있어서 상온 예비 접합에 의한 접합 특성의 개선

朱炳權 ,  李德重 ,  李允熙 외 4명

전기학회논문지

1998 .08

선형가열기를 이용한 Si∥SiO2/Si3N4∥Si 이종기판쌍의 직접접합

이상현 ,  송오성 ,  이상돈

전기전자재료학회논문지

2002 .01

TOP ELECTRODE ANNEALING EFFECTS IN SrBi$_2$Ta$_2$O$_9$/CeO$_2$/Si STRUCTURE

Shin ,  Dong-Suk ,  Lee 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

대 면적 정전 접합 장치 고안 및 Si과 glass 접합 ( Design of Electrostatic Bonding Equipment for Large Area and Si-Glass Electrostatic Bonding )

문제도 ,  오재영 ,  조영래 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1995 .07

Si(100)의 얇은 산화막을 통한 Co$Si_{2}$형성에 관한 연구

신영철 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

게이지압 Si 압력센서의 제작 및 특성 평가

오동환 ,  오영환 ,  김성진 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

대면적 정전접합 장치 고안 및 Si 과 glass 접합

문제도 ,  오재열 ,  조영래 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1995 .06

Si1-xGex / Si 구조에서의 Hall 이동도 ( Hall Mobility in Si1-xGex / Si Structure )

강대석 ,  신창호 ,  박재우 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

Si/유리 저온 정전 접합시 Al의 역할

김희수 ,  문제도 ,  오재열 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

소형 Si 압력센서의 제작 및 동작 특성 평가 ( Fabrication and Characterzation of Miniature Si Pressure Sensor )

주병권 ,  오명환

대한전자공학회 학술대회

1990 .01