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1. 서론
2. 본론
3. 결과
4. 결론
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[학술지(정기간행물)] - N. S. Yoon / 1997 / ＂Two- dimensional Non-local Heating Theory of Planar-type Inductively Coupled Plasma Discharge : 7536 ~ 7549
[학술지(정기간행물)] - 이종규 / 2004 / 평판형 유도 결합 플라즈마 장치에 대한 Alternate type Impedance matching 회로 분석 : 1933 ~ 1935
[학술지(정기간행물)] - Y. Sun / 1996 / Design method for impedance matching networks 143 : 186 ~
[학술지(정기간행물)] - William H. Hayt / 2001 / Engineering Electromagnetics : 441 ~
[학술지(정기간행물)] - K. -I. You / 1999 / Discharge impedance of solenoidal inductively coupled plasma discharge 59 : 7074 ~ 7084
[학술지(정기간행물)] - 이종규 / 2004 / 평판형 유도 결합 플라즈마 장치에 대한 Alternate type Impedance matching 회로 분석 : 1933 ~ 1935
[학술지(정기간행물)] - Y. Sun / 1996 / Design method for impedance matching networks 143 : 186 ~
[학술지(정기간행물)] - William H. Hayt / 2001 / Engineering Electromagnetics : 441 ~
[학술지(정기간행물)] - K. -I. You / 1999 / Discharge impedance of solenoidal inductively coupled plasma discharge 59 : 7074 ~ 7084
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