Ta₂O₅의 유전 특성과 열 안정성에 관한 연구

김인성 ,  송재성 ,  이동윤 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .07

Ta₂O₅ 커패시터 박막의 유전 특성과 열 안정성에 관한 연구

金寅性 ,  李東胤 ,  宋在成 외 2명

전기학회논문지 C

2002 .05

Al₂O₃ 기판 위에 제작된 Ta/Ta₂O₅/Ta 박막 커패시터의 전기적 특성

김현주 ,  송재성 ,  김인성 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

B-TA 기술

이창범

한국통신학회 워크샵

1995 .01

열처리 온도에 따른 $Ta_2O_5$ 박막의 특성변화

강필규 ,  진정근 ,  노대호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

$Ta_2O_{5}$ 박막의 누설전류 및 유전특성과 박막응력

이재석 ,  양승기 ,  신상모 외 1명

한국재료학회지

1995 .01

B-TA 기술 개발

전경표

한국통신학회 워크샵

1996 .01

Al2O3 기판위에 형성된 Ti-O 완충층을 가진 Ta/Ta2O5/Ta 커패시터의 특성

김현주 ,  송재성 ,  김인성 외 1명

전기전자재료학회논문지

2003 .01

Modeling of Three-Dimensional Thermal Oxidation

이준하 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

통계적 실험 방법에 의한 Ta 박막의 증착 특성 연구

서유석 ,  박대규 ,  정철모 외 6명

한국재료학회지

2001 .01

TaO 고유전박막의 미세조직과 열적안정성

민석홍 ,  정병길 ,  최재호 외 5명

한국재료학회지

2002 .01

Ta-Al 합금박막의 열적안정성에 미치는 질소첨가 효과

조원기 ,  김태영 ,  강남석 외 2명

한국재료학회지

1997 .01

반응성 스퍼터링으로 제조한 ${Ta_2}{O_5}/{Al_2}{O_3}$ 다충박막의 유전특성

최재훈 ,  오태성

한국재료학회지

2001 .01

B-TA 기술 및 개발현황

전경표 ,  이창범 ,  김상중

한국통신학회지(정보와통신)

1995 .04

$SnO_2$ 박막을 이용한 ${Ta_2}{O_5}$박막 커패시터의유전특성

김진석 ,  정강민 ,  이문희

한국재료학회지

1994 .01

PREFERRED ORIENTATION AND MICROSTRUCTURE OF MOD DERIVED SrBi_2xTa₂O₉ THIN FILMS WITH Bi CONTENT x

Dae Joong Yeon ,  Joo Dong Pa ,  k 외 1명

한국표면공학회지

1996 .12

MOCVD법에 의한 $Ta_{2}O_{5}$ 박막의 계면물성

김명호 ,  윤재홍

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Thermal Stability of Ta-Ni Thin Films as Copper Diffusion Barrier

Junhee Lee ,  Daegun You ,  Taeyeop Kim 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2020 .07

$SnO_2$ 박막의 이용한 $Ta_{2}O_{5}$ 박막 커패시터의 유전특성에 관한 연구

김진석 ,  이문희

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

TiO₂첨가에 따른 Mg₄Ta₂O₉ 세라믹스의 마이크로파 유전특성과 유전체 공진기 거동에 관한 연구

金再植 ,  崔義善 ,  柳基元 외 1명

전기학회논문지

2007 .04