Si+ 이온주입된 Si 기판의 결함형성 및 회복에 관한 연구 ( Characteristics of Si + - self implant Damage and Its Annealing Behavior )

김광일 ,  이상환 ,  정욱진 외 4명

전자공학회논문지-A

1994 .08

자연 산화막과 엑시머 레이저를 이용한 poly-Si/a-Si 이중 박막 다결정 실리콘 박막 트랜지스터

朴基燦 ,  朴辰雨 ,  鄭湘勳 외 1명

전기학회논문지 C

2000 .01

실리콘 이온 주입후 고상 결정화된 Poly-Si TFT의 전기적 특성 ( The Electrical Characteristics of Poly-Si TFT Using SPC Films After Si ion Implantation )

이병주 ,  김재영 ,  강문상 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si₃N₄∥Si(100)기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상현

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

새로운 방법에 의한 비정질 실리콘의 제작

김성철 ,  이승규 ,  장진

한국태양에너지학회 학술대회논문집

1989 .05

Excimer-Laser Annealing for Low-Temperature Poly-Si TFTs

Kim ,  Hyun-Jae

Journal of information display

2003 .01

실리콘 이온 주입후 고상 결정화시킨 다결정 실리콘 TFT의 전기적 특성 ( Electrical Characteristics of the Poly-Si TFT using SPC Films after Si Ion Implantation )

이병주 ,  김재영 ,  강문상 외 2명

전자공학회논문지-A

1993 .10

선택적 레이저 어닐링을 이용하여 비정질 실리콘 오프셋을 갖는 Inverse Staggered 다결정 실리콘 박막 트랜지스터

박기찬 ,  최권영 ,  김천홍 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

TOP ELECTRODE ANNEALING EFFECTS IN SrBi$_2$Ta$_2$O$_9$/CeO$_2$/Si STRUCTURE

Shin ,  Dong-Suk ,  Lee 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

$SiO_2$ 위에 LP-CVD로 증착한 비정질 $Si/Si_{0.69}Ge_{0.31}, Si_{0.69}Ge_{0.31}Si$ 및 Si의 결정화 거동

김태훈 ,  류명관 ,  김진원 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si$_3$N$_4$∥Si (100) 기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상연

한국재료학회지

2001 .01

Si(100)의 얇은 산화막을 통한 Co$Si_{2}$형성에 관한 연구

신영철 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Si 이온주입결함이 B의 channeling 및 확산에 미치는 영향

김광일 ,  정욱진 ,  배영호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

Si 이온주입결함이 B 의 channeling 및 확산에 미치는 영향 ( Effects of Si Ion Induced Defects on Channeling and Diffusion on B )

김광일 ,  정욱진 ,  배영호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

선택적 결정화를 통한 채널에 비정질 영역을 갖는 새로운 다결정 실리콘 박막 트랜지스터

全宰弘 ,  朴喆民 ,  金天弘 외 1명

전기학회논문지

1997 .11

직접 접합된 Si-Si, Si-$SiO_2$/Si기판쌍의 접합 계면에 관한 연구

주병권 ,  방준호 ,  이윤희 외 2명

한국재료학회지

1994 .01

급속열처리에 따른 Si 이온주입 유기결함의 회복 거동 ( Annealing Behaviors of Various Defects in Si during Rapid Thermal Annealing )

김광일 ,  권영규 ,  정욱진 외 2명

대한전자공학회 워크샵

1996 .01

비정질 실리콘 박막에서 엑시머 레이저에 의한 붕소이온의 수평확산

박수정 ,  이민철 ,  강수혁 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .07

Improvement of a-Si/c-Si Tandem Solar Cells Using nc-Si Tunneling Junction Layers

Sunhwa Lee ,  Jonghwan Lee ,  Changheon Kim 외 2명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2014 .11