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이용수
Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
[참고문헌]
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유기 전계 발광 디스플레이용 ITO 투명 전도성 박막의 CMP에 관한 연구
대한기계학회 논문집 A권
2002 .05
CMP 패드 컨디셔닝 온도조절시 ITO박막의 전기적ㆍ광학적 특성 거동
대한전기학회 학술대회 논문집
2005 .11
R.F Sputtering 법으로 제조된 ITO 박막의 미세구조가 전기ㆍ광학 특성에 미치는 영향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .10
ITO 박막의 연마특성과 마찰력 신호와의 상관관계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2006 .05
ITO박막의 공정변수에 따른 특성연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .05
ITO/Ni/ITO 박막의 공정변수에 따른 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
ITO/AI/ITO 다층 박막의 광학적 전기적 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .05
Enhancement in electrical and optical properties of ITO thin films grown by 2-step process at room temperature
대한전기학회 학술대회 논문집
2005 .11
CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
PET기판상 ITO/Al/ITO 박막의 증착 압력이 광학적 전기적 특성에 미치는 영향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
CMP특성과 온도의 상호관계에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2002 .10
산소 가스 유량비 변화에 따른 ITO 박막의 전기적 특성에 관한 연구
한국표면공학회지
2007 .06
패턴 밀도에 따른 CMP 공정에 따른 연구
대한기계학회 기타 간행물
2002 .11
ITO/Ni/ITO 박막의 광학적 전기적 특성 연구
한국표면공학회지
2005 .04
CMP 공정의 설비요소가 공정 결함에 미치는 영향
전기학회논문지 C
2002 .05
Oxide CMP 공정의 최적화에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1998 .06
Oxide CMP 공정의 최적화에 관한 연구 ( Optimizations for Oxide CMP Processes )
대한전자공학회 학술대회
1998 .07
CMP개론 및 현황
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
CMP공정에서의 종점 검출 기술 현황
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1998 .05
반경험적인 실험설계 기법을 이용한 CMP 공정 변수의 최적화
전기전자재료학회논문지
2002 .01
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