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이용수
Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
[참고문헌]
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CMP 공정변수에 따른 ITO박막의 전기적광학적 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2005 .11
R.F Sputtering 법으로 제조된 ITO 박막의 미세구조가 전기ㆍ광학 특성에 미치는 영향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .10
ITO/AI/ITO 다층 박막의 광학적 전기적 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .05
CMP 컨디셔닝 시스템에서 연마패드 마모에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .06
Enhancement in electrical and optical properties of ITO thin films grown by 2-step process at room temperature
대한전기학회 학술대회 논문집
2005 .11
PET기판상 ITO/Al/ITO 박막의 증착 압력이 광학적 전기적 특성에 미치는 영향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
ITO/Ni/ITO 박막의 공정변수에 따른 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
산소 가스 유량비 변화에 따른 ITO 박막의 전기적 특성에 관한 연구
한국표면공학회지
2007 .06
화학기계적연마(CMP) 컨디셔닝에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
1999 .05
ITO/Ni/ITO 박막의 광학적 전기적 특성 연구
한국표면공학회지
2005 .04
Annealing 온도에 따른 ITO 박막의 특성 고찰
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2012 .11
유기 전계 발광 디스플레이용 ITO 투명 전도성 박막의 CMP에 관한 연구
대한기계학회 논문집 A권
2002 .05
Reactive Sputtering 공법을 이용하여 제작된 ITO/Ag/ITO 다층박막의 전기적, 광학적 특성 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
CMP 연마패드 형상 제어 및 실험적 검증
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
D.C. 마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 ITO 및 ITO/Ag/ITO 박막의 미세조직과 투명 전극 특성
한국재료학회지
2006 .01
분위기 가스에 따른 ITO 박막의 전기적 및 구조적 특성
반도체및디스플레이장비학회지
2008 .01
가스압 변화에 따른 ITO 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .05
ITO박막의 공정변수에 따른 특성연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .05
ITO 박막의 연마특성과 마찰력 신호와의 상관관계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2006 .05
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