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전자빔 증착된 Indium Tin Oxide(ITO) 박막의 진공 열처리 효과를 알아보기 위해 진공 및 대기 중에서 열처리 온도(200-335℃) 및 산소 분압 변화(1×10^(-5)-1×10-⁴ torr)에 따른 투과율과 면-저항의 변화 및 결정구조를 조사하였다. 시편은 (222) 계열의 면으로 우세 배향된 다결정박막이다. 진공 열처리 변수를 적절하게 조절하여 62Ω/□의 면저항과 99%(500 ㎚) 이상의 투과율을 가지는 고품질의 박막을 얻을 수 있었다.
목차
국문초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험
Ⅲ. 결과 및 논의
Ⅳ. 결론
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참고문헌
Abstract
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