ECR plasma를 이용한 실리콘 산화 박막 성장 및 특성연구

안명환 ,  윤창주 ,  이기방 외 9명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

ECR 산소 플라즈마를 이용한 저온 열산화 ( Low Temperature Thermal Oxidation using ECR Oxygen Plasma )

이정열 ,  강석원 ,  이진우 외 2명

전자공학회논문지-A

1995 .03

Two Layer Gate Insulator with ECR Plasma Thermal Oxide / LPCVD Oxide for High Performance Polysilicon Thin Film Transistor

Jung Yeal Lee ,  Sung Hun Lee ,  Chul Hi Han 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

ECR PECVD에 의한 상온 실리콘 질화막 형성 및 박막 트랜지스터에의 응용 ( Room Temperature Fabrication of Silicon Nitride Films by ECR PECVD and its Application to Thin Film Transistors )

전유찬 ,  이호영 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

ECR 플라즈마를 이용한 실리콘질화박막 증착

송선규 ,  장홍영

한국표면공학회지

1990 .12

표면 처리한 SiO₂를 게이트 절연막으로 하는 박막 트랜지스터의 특성 연구

이재혁 ,  이용수 ,  박재훈 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .11

저온 열처리를 이용한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터

정주용 ,  하승호 ,  이진민 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

박막트랜지스터 게이트 절연막 응용을 위한 불화막 특성연구

金度榮 ,  崔碩元 ,  安炳宰 외 1명

전기학회논문지 C

1999 .12

SiO2를 게이트 절연막으로 사용한 비정질 실리콘 박막 트랜지스터의 안정성 연구

김성기 ,  이근수 ,  유재호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

ECR 플라즈마에 의해 형성된 실리콘 질화막의 전기적 특성 ( Electrical Properties of Silicon Nitride Thin Films Formed by ECR Plasma )

구본영 ,  전유찬 ,  주승기

전자공학회논문지-A

1992 .10

최대 효율을 갖는 무선전력전송용 ECR장치 설계

김성완 ,  김창선

대한전기학회 학술대회 논문집

2012 .07

ECR 플라즈마 방법에 의한 SiO2 박막 제조에 관한 연구 ( A Study on the Fabrication of SiO2 Films by ECR Plasma Method )

이현 ,  강문상 ,  구용서 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

ECR 플라즈마 방법에 SiO₂ 박막 제조에 관한 연구

이현 ,  강문상 ,  구용서 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

상온에서 ECR PECVD에 의해 형성된 실리콘 산화질화막의 전기적 특성

이호영 ,  전유찬 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

PNP 게이트를 가지는 폴리 실리콘 박막 트랜지스터의 전기적 특성 ( Electrical Characteristics of Polysilicon Thin Film Transistors with PNP Gate )

민병혁 ,  박철민 ,  한민구

전자공학회논문지-A

1996 .03

ECR 용 최적 마그네트에 관한 연구

김윤택 ,  김용주 ,  김교순 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1992 .07

ECR 플라즈마를 이용한 Cu 박막의 건식 식각특성에 관한 연구

이성권 ,  이원종 ,  천성순

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

ECR CVD를 이용한 비정질 실리콘 박막의 증착 조건과 광학적 특성 ( The Deposition Condition and Optical Characteristics of A-Si : H Films Deposited By ECR CVD )

강문상 ,  김재영 ,  전법주 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

ECR CVD를 이용한 비정질 실리콘 박막의 증착 조건과 광학적 특성

강문상 ,  김재영 ,  전법주 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11