전자현미경 영상을 이용한 나노 비주얼 서보잉

崔振鎬; 安商丁; 朴丙天; 柳鐏

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자료유형: 학술저널

저자정보: 崔振鎬 (충남대학교) 安商丁 (한국표준과학연구원) 朴丙天 (한국표준과학연구원) 柳鐏 (충남대학교)

저널정보: 대한전기학회 전기학회논문지 전기학회논문지 제57권 제10호

발행연도: 2008.10

수록면: 1,876 - 1,882 (7page)

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Nano manipulator is used to manufacture Carbon Nano'Tube (CNT) tips. Using nano manipulator, operator attaches a CNT at the apex of Atomic Force Microscope(AFM) tip, which requires a mastery of mechanics and long manufacture time. Nano manipulator is installed inside a Scanning Electron Microscope (SEM) chamber to observe the operation. This paper presents a control scheme for horizontal axes of nano manipulator via processing SEM image. Edges of AFM tip and CNT are first detected, and the position information so obtained is fed to control horizontal axes of nano manipulator. That is, a visual servoing loop is realized to control the axes more precisely in nano scale.

#AFM #Nano Manipulator #Edge Detection #Visual Servoing #CNT Tip

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1. [학술지(정기간행물)] - ]A. Hall / 2003 / Simple and efficient method for carbon nanotube attachment to scanning probes and other substrates / Applied Physics Letter 82 : 2506 ~

2. [학술지(정기간행물)] - T. Arie / 2000 / Carbon-nanotube probe equipped magnetic fore microscope / Journal of. Vacuum Science Technology B 18 : 104 ~ 106

3. [학술지(정기간행물)] - C. V. Nguyen / 2002 / Carbon nanotube scanning probe for profiling of deep-ultraviolet and 193 nm photoresist patterns / Applied Physics Letters 81 (5) : 901 ~ 903

4. [학위논문] - 정기영 / 2004 / 탄소 나노튜브 탐침 제작에 관한 연구 / 박사 / 인하대학교

5. [단행본] - Attocube / 2005 / User Manual Inertial XYZ Positioner ANPxyz100

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